一种加热器固定装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种加热器固定装置，用于将加热器固定至热处理腔室侧壁的固定孔内，加热器固定装置包括固定板和支撑架，固定板包括第一连接部和通孔；第一连接部用于将固定板连接至热处理腔室的外侧壁，通孔贯穿固定板，且与固定孔的位置对应；支撑架包括第二连接部和支撑双臂，第二连接部用于将支撑架连接在固定板上，支撑双臂与通孔对应设置；加热器设置于固定孔中，加热器的末端从固定孔中伸出并穿过通孔，固定在支撑双臂内，使得加热器的外壁与固定孔的内壁之间设有缝隙。本实用新型的有益效果在于：加热器固定装置将加热器的末端支撑起，使加热器周围留用空隙，利于加热器的散热，延长加热器使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种加热器固定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920870279.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-11
授权号 ：
CN210292860U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
周思源
申请人 ：
量伙半导体设备（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区老港镇老芦公路536号
代理机构 ：
北京思创大成知识产权代理有限公司
代理人 ：
高爽
优先权 ：
CN201920870279.7
主分类号 ：
F27D11/00
IPC分类号 ：
F27D11/00 F27D11/02 H01L21/324
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D11/00
炉内或炉上电热元件的配置
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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