真空炉积炭检测装置及真空炉
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摘要

本公开涉及真空炉技术领域,尤其涉及一种真空炉积炭检测装置及真空炉。该真空炉积炭检测装置包括支撑座、第一导电柱、第二导电柱和电阻测量器,其中:支撑座能够设于真空炉的加热腔内,且支撑座具有能够沉积积炭层的沉积面;第一导电柱及第二导电柱中至少一部分相对沉积面凸出设置;电阻测量器设于加热腔外,且具有正极接口和负极接口,正极接口与第一导电柱连接、负极接口与第二导电柱连接;电阻测量器、第一导电柱及第二导电柱能够与积炭层形成电流回路,电阻测量器能够测量出积炭层的电阻值。该真空炉积炭检测装置能够实时监测加热腔内的积炭情况,方便对积炭进行清理,并使真空炉避免出现因积炭而导致的故障。

基本信息
专利标题 :
真空炉积炭检测装置及真空炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920882898.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-11
授权号 :
CN209857840U
授权日 :
2019-12-27
发明人 :
张伟胡勇谭国棠苏亮邓从跃
申请人 :
中山凯旋真空科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省中山市横栏镇环镇北路27号
代理机构 :
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 :
王辉
优先权 :
CN201920882898.8
主分类号 :
G01B7/06
IPC分类号 :
G01B7/06  F27D21/00  F27D25/00  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B7/06
用于计量厚度
法律状态
2019-12-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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