一种防掉渣溅射挡底板
授权
摘要
本实用新型公开一种防掉渣溅射挡底板。包括：挡板，呈“L”状，其异于溅射腔体之内壁的一侧涂覆有机硅橡胶，且固定设置在腔体之呈相对设置的内壁处，呈“L”状设置的挡板之延伸部位临近溅射腔体之底端，并在挡板之间形成溅射区域；底板，呈块状，其异于溅射腔体之内壁的一侧涂覆有机硅橡胶，且固定设置在腔体之底部的冷却水管上，并与挡板之纵向呈间隔设置，形成镀膜玻璃之运行通道。本实用新型当镀膜工艺发生改变或色系转变时，溅射腔体温度相应波动，则凭借有机硅橡胶的弹性力使得靶材积渣不易崩落，有效的降低了因掉渣导致废板的数量，提高产品良率，值得业界推广使用。
基本信息
专利标题 ：
一种防掉渣溅射挡底板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920894577.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-14
授权号 ：
CN210001770U
授权日 ：
2020-01-31
发明人 ：
李军周文谦谭光仁葛剑君
申请人 ：
湖北亿钧耀能新材股份公司
申请人地址 ：
湖北省荆州市东方大道52号
代理机构 ：
荆州市亚德专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
蔡昌伟
优先权 ：
CN201920894577.X
主分类号 ：
C03C17/36
IPC分类号 ：
C03C17/36 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C17/00
纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
C03C17/34
用至少两种不同成分的涂层
C03C17/36
至少一种涂层是金属
法律状态
2020-01-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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