本实用新型公开了一种多级过滤自循环式的超纯水设备，包括水箱、一级过滤箱、增压泵、机械过滤器、循环装置、活性炭过滤器、超滤箱、反渗透箱、混床、离子交换器、纯水箱和软化器；所述水箱设在底板上表面左侧；所述一级过滤箱包括石英砂层、滤网、活性炭层和箱体，所述箱体的一端通过进水管与水箱侧面的进水口连接，所述石英砂层设在箱体内部的一端，所述活性炭层设在箱体内部的另一端，所述滤网在箱体内部石英砂层和活性炭层之间；本多级过滤自循环式的超纯水设备可以对原水出过滤，防止泥沙和杂物进入到原水箱中堵塞水箱的出水口，可在膜过滤式对原水提供压力，加快膜过滤的过程，提高了纯水生产的效率。