量测真空腔室压力的组件及基板处理设备
授权
摘要
本实用新型关于一种量测真空腔室压力的组件，包括真空压力计、隔离阀、及手动阀。真空压力计是经由一管路而流体连通至真空腔室，以量测真空腔室中的压力。隔离阀是设置于真空压力计与真空腔室之间，并且经由管路而流体连通至真空压力计及真空腔室。手动阀是设置于隔离阀与真空腔室之间，并且经由管路而流体连通至隔离阀及真空腔室。
基本信息
专利标题 ：
量测真空腔室压力的组件及基板处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920907082.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-17
授权号 ：
CN210071221U
授权日 ：
2020-02-14
发明人 ：
洪志楷陈俊鸰
申请人 ：
千侑科技有限公司;庆望绿能有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
许静
优先权 ：
CN201920907082.6
主分类号 ：
G01L21/00
IPC分类号 ：
G01L21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2020-02-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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