一种真空蒸发源加热组件
授权
摘要
一种真空蒸发源加热组件，包括加热丝、导线和绝缘壳体，其特征在于：所述加热丝绕成螺旋状，并密封在绝缘壳体内，所述导线置于绝缘壳体外，所述绝缘壳体上设有用于固定加热丝和导线连接时预留的凹槽，所述加热丝外接温度控制器来控制蒸发源温度，所述绝缘壳体内中间靠近加热丝处设有温度传感器。本实用新型优点在于：可以防止高温时发生形变导致加热不均匀或者接触其他部位引起短路，从而让电热丝稳定连续加热。
基本信息
专利标题 ：
一种真空蒸发源加热组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920917047.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-18
授权号 ：
CN210560695U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
王燕东王文冲迟力峰
申请人 ：
苏州驰鸣纳米技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号B07楼327-6单元
代理机构 ：
宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈栋
优先权 ：
CN201920917047.2
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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