一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，所述传感器为平板式结构，自下而上依次包括单晶硅片、二氧化硅纳米薄膜、氮化硅纳米薄膜、铂金电极薄膜和WO3纳米薄膜。所述铂金电极薄膜包括一块加热电极和一块信号电极，所述加热电极和信号电极对称分布于同一个平面上，所述铂金电极薄膜磁控溅射参数为：溅射功率为30～60W，溅射时间为15～30min，沉积温度为室温，氩气流量为30～40sccm。本实用新型的传感器以WO3纳米薄膜为敏感材料，所述WO3纳米薄膜由磁控溅射镀膜制得，对可燃气体如氢气和一氧化碳具有较高的灵敏度。
基本信息
专利标题 ：
一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920931083.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-20
授权号 ：
CN210775316U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
刘鹏张真谭永杰谭崇刚谭德辉武郑浩
申请人 ：
南京云创大数据科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市秦淮区永智路6号南京白下高新技术产业园区四号楼A栋9层
代理机构 ：
南京钟山专利代理有限公司
代理人 ：
戴朝荣
优先权 ：
CN201920931083.4
主分类号 ：
G01N27/30
IPC分类号 ：
G01N27/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/30
•••电极，例如测试电极；半电池
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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