检测管理系统
授权
摘要

本实用新型涉及一种检测管理系统,包括:待检测的载具,所述载具具有腔室,且所述腔室内适于具有预设气体状态;集成于所述载具上的检测获取模块,所述检测获取模块检测所述腔室内的预设气体状态的待测参数,并获取检测数据;与所述检测获取模块以及所述腔室连接的数据收集控制模块,控制所述腔室内具有所述预设气体状态,并收集所述检测数据。本实用新型实施例能够实现载具的自动化气体导入、检测以及数据收集的一系列检测流程,有利于提高测试准确率以及测试效率。

基本信息
专利标题 :
检测管理系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920937425.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-20
授权号 :
CN210268715U
授权日 :
2020-04-07
发明人 :
刘锦坤杨宗龙
申请人 :
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 :
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
成丽杰
优先权 :
CN201920937425.3
主分类号 :
G01D21/02
IPC分类号 :
G01D21/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01D
非专用于特定变量的测量;不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置;计费设备;非专用于特定变量的传输或转换装置;未列入其他类目的测量或测试
G01D21/00
未列入其他类目的测量或测试
G01D21/02
用不包括在其他单个小类中的装置来测量两个或更多个变量
法律状态
2020-04-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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