一种罩式沙封退火炉

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种罩式沙封退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体的顶部铰件连接顶盖，所述顶盖的前侧面通过螺栓固定连接卡扣，所述退火炉本体的前侧面及对卡扣对应的位置通过螺栓固定连接卡扣锁，所述退火炉本体的底部设置圆盘，所述圆盘的上表面焊接环形板，所述环形板的侧面焊接横板，所述横板的表面开设圆孔，所述圆孔内插接竖杆，所述圆盘的上表面第一环形圈和第二环形圈，所述第二环形圈内侧砌筑高铝砖，所述高铝砖的一侧浇筑沙层。该装置防止内罩氧化，提高了罩式退火炉的使用寿命，采用两道密封，退火效果更好。

基本信息

专利标题：

一种罩式沙封退火炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920945992.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-23

授权号：

CN209981179U

授权日：

2020-01-21

发明人：

李晨周建国

申请人：

无锡赢钢科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市惠山区洛社镇杨市钢铁路100号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920945992.3

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

法律状态

2021-06-01 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20190623
授权公告日 : 20200121
终止日期 : 20200623

2020-01-21 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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