一种用于清洗基片或芯片的新型转盘
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摘要
一种用于清洗基片或芯片的新型转盘,涉及芯片技术领域。包括转盘本体、第一挡片和第二挡片。转盘本体的一侧设有真空吸嘴,真空吸嘴为四个,四个真空吸嘴呈正方形状排列构成吸附区。相邻两个真空吸嘴之间均设置有第一挡片,第一挡片垂直于转盘本体的表面设置且多个第一挡片构成十字型挡片结构。第二挡片围设于吸附区的周缘。第二挡片呈片状并弯曲呈弧状,第二挡片的两端均连接于转盘本体的表面,第二挡片的宽度方向沿平行于转盘本体的表面的方向设置。其结构简单,易于实现,在清洗过程中能够确保基片和芯片的安全,避免发生偏移或脱落,同时能够保证充分“甩干”,防止清洗液残留,使清洗工序的稳定性和安全性大大提高。
基本信息
专利标题 :
一种用于清洗基片或芯片的新型转盘
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920946883.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-21
授权号 :
CN210279940U
授权日 :
2020-04-10
发明人 :
杜晶
申请人 :
四川科尔威光电科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市高新区世纪城南路599号天府软件园D6栋505号
代理机构 :
成都慕川专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李小金
优先权 :
CN201920946883.3
主分类号 :
B08B3/00
IPC分类号 :
B08B3/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
法律状态
2020-04-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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