本实用新型提供了一种高精度限位柱塞机构，用于实现第一部件与第二部件之间的限位，包括：外导向套，中心设置有一轴向通孔；内限位销，同轴穿设在轴向通孔内并可沿轴向通孔移动，内限位销的下端伸出外导向套的下端，且内限位销与外导向套之间设置有弹性结构；外导向套安装在第一部件上，第二部件上设置有限位孔；当高精度限位柱塞机构未到达第二部件上的限位孔时，内限位销下端向外导向套一侧移动收缩同时弹性结构产生变形，且内限位销的下端抵在第二部件的表面；当高精度限位柱塞机构到达第二部件上的限位孔时，弹性结构恢复变形并推动内限位销移动伸进限位孔内。