本实用新型公开了过氧化氢蒸发模块及蒸发模块组合结构，包括内部具有通道和加热部件的薄壁电热良导体腔体，通道为具有电热良导体外壁的通道且为多回路结构，多回路结构为平面或空间结构，加热部件在薄壁电热良导体腔体内进行分布，形成由入口至出口的温度逐步升高梯度的温度场，通道一端伸出薄壁电热良导体腔体形成注液端，通道另一端伸出薄壁电热良导体腔体形成气体出口端，电热部件具有伸出薄壁电热良导体腔体外部与加热源相联的加热接口，通道为单通道或多通道，本新型还公开了一种基于该模块的蒸发模块组合结构；本实用新型不仅能够提升能源利用率，而且能够对通道中的流体进行循环加热，并能大大缩小整体设备的体积，达到更好的效果。