一种镜头清洁工具
授权
摘要
本实用新型提供的镜头清洁工具，用于对光刻机的镜头进行清洁，包括：手柄、清洁组件和观察组件，所述清洁组件包括第一连接杆，所述第一连接杆的一端与所述手柄的一端连接，所述第一连接杆远离所述手柄的一端上设有清洁部件，所述清洁部件用于对光刻机的镜头进行清洁，所述观察组件与所述手柄连接或与所述第一连接杆连接，用以观察所述清洁部件的工作状态。
基本信息
专利标题 ：
一种镜头清洁工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920978632.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-27
授权号 ：
CN210279902U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
宣胤杰
申请人 ：
上海华力微电子有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
屈蘅
优先权 ：
CN201920978632.3
主分类号 ：
B08B1/00
IPC分类号 ：
B08B1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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