热板腔盖、热板单元及匀胶机
授权
摘要
本实用新型涉及光刻机制造领域，提供了一种热板腔盖、热板单元及匀胶机。所述热板腔盖包括：本体，其上上设有一进出气孔；密封筒，密封固定于所述本体上，覆盖于所述出气孔上方，且所述密封筒的内径大于所述出气孔的孔径；进气管，与所述密封筒连接，提供向热板腔内充气的气道；排气管，与所述密封筒连接，提供向所述热板腔外抽气的气道。本实用新型通过使改造后的匀胶机可以适应挥发性较强的光刻胶的排气要求，同时也能向下兼容原先使用的光刻胶，提高了光刻机的利用率，也节约了采购新设备的费用。
基本信息
专利标题 ：
热板腔盖、热板单元及匀胶机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920981053.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-26
授权号 ：
CN209992805U
授权日 ：
2020-01-24
发明人 ：
何彦君黄斌姚剑武
申请人 ：
上海华力微电子有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
屈蘅
优先权 ：
CN201920981053.4
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16 G03F7/38 G03F7/40
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2020-01-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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