平行度测量装置及打压机平行度测量系统

授权

摘要

本实用新型实施例提供一种平行度测量装置及打压机平行度测量系统，平行度测量装置用于测量第一表面和第二表面的平行度，包括：准直仪，发射测量光束；第一光学元件，与所述第一表面平行，反射部分所述测量光束至所述准直仪，并透射部分所述测量光束；第二光学元件，与所述第二表面平行，位于所述第一光学元件远离所述准直仪一侧，反射透过所述第一光学元件的所述测量光束至所述准直仪。本实用新型实施例提供一种平行度测量装置及打压机平行度测量系统，以实现简化平行度测量的过程，提高平行度测量的精度。

基本信息

专利标题：

平行度测量装置及打压机平行度测量系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920985495.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-27

授权号：

CN209894139U

授权日：

2020-01-03

发明人：

张品光王丹艺何剑炜马育国张磊

申请人：

东莞市宇瞳光学科技股份有限公司

申请人地址：

广东省东莞市长安镇乌沙环东路306号长通誉凯工业区D栋

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN201920985495.6

主分类号：

G01B11/26

IPC分类号：

G01B11/26