一种具备过载保护结构的MEMS矢量水听器
授权
摘要
本实用新型公开了一种具备过载保护结构的MEMS矢量水听器，属于MEMS传感器和矢量水听器技术领域。其包括硅基感知模块和玻璃基过载保护模块，其中硅基感知模块上设置有刚性轻质柱体，玻璃基过载保护模块用于限制刚性轻质柱体的运动范围。本实用新型解决了目前同振式矢量水听器在受到外界较大冲击情况下易发生敏感元件损坏的问题，同时解决了仿生型MEMS矢量水听器纤毛型感知元件安装限位、粘结胶容易溢出的问题，是对现有技术的一种重要改进。
基本信息
专利标题 ：
一种具备过载保护结构的MEMS矢量水听器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920991049.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-27
授权号 ：
CN209820621U
授权日 ：
2019-12-20
发明人 ：
董自强张松苗峻胡天宇李旭王大宇张晓桐
申请人 ：
中国电子科技集团公司第五十四研究所
申请人地址 ：
河北省石家庄市中山西路589号中国电子科技集团公司第五十四研究所电子战
代理机构 ：
河北东尚律师事务所
代理人 ：
王文庆
优先权 ：
CN201920991049.6
主分类号 ：
G01H3/00
IPC分类号 ：
G01H3/00 G01H11/08
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01H
机械振动或超声波、声波或次声波的测量
G01H3/00
应用流体中的检测器测量振动
法律状态
2019-12-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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