一种可控压力的MEMS惯性传感器测试夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种可控压力的MEMS惯性传感器测试夹具，包括测试底板、中间板和上层盖板；所述测试底板设有安装通孔，安装通孔内设有双头弹簧测试探针针头，探针一头凸出于测试底板上表面，探针另一头凸出于测试底板下表面；所述中间板设有用于放置并限位固定待测MEMS惯性传感器的贯穿中间板厚度方向的容纳腔，所有测试底板上表面的测试探针针头位于容纳腔范围内，中间板的厚度小于待测MEMS惯性传感器的厚度；测试底板、中间板和上层盖板三者叠合放置并采用至少两个螺钉连接。本实用新型结构简单，安装方便，能够调控对MEMS惯性传感器的压力，针对不同MEMS惯性传感器采用不同的测试压力，以达到MEMS惯性传感器的最优性能，使得测试结果更准确。
基本信息
专利标题 ：
一种可控压力的MEMS惯性传感器测试夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920995739.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN210036750U
授权日 ：
2020-02-07
发明人 ：
陈首任王雪峰刘杨付朝辉喻伟张广平
申请人 ：
成都华托微纳智能传感科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流区公兴街道货运大道868号仓储横一路88号附3号
代理机构 ：
北京中索知识产权代理有限公司
代理人 ：
唐亭
优先权 ：
CN201920995739.9
主分类号 ：
G01C25/00
IPC分类号 ：
G01C25/00 G01R1/04 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C25/00
有关本小类其他各组中的仪器或装置的制造、校准、清洁或修理
法律状态
2020-02-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
