一种时栅直线位移传感器的误差测量装置

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摘要

本实用新型公开了一种时栅直线位移传感器的误差测量装置，包括气浮直线导轨、工程控制机、激光干涉仪、伺服直线电机、电机驱动控制模块和传感器电气驱动系统，气浮直线导轨固定在实验平台上且设置有滑块，伺服直线电机的输出轴与滑块连接，激光干涉仪包括激光器、干涉镜和反射镜，激光器、反射镜、干涉镜的位置关系能实现直线位移测量，工程控制机与电机驱动控制模块、激光器、传感器电气驱动系统电连接，电机驱动控制模块与伺服直线电机电连接；定尺固定在实验平台上、动测头固定在滑块上且与定尺正对平行；定尺的激励线圈、动测头的感应线圈与传感器电气驱动系统电连接。该装置能对误差进行准确测量，降低人为因素影响。

基本信息

专利标题：

一种时栅直线位移传感器的误差测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921002610.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-28

授权号：

CN209802283U

授权日：

2019-12-17

发明人：

杨继森牟智铭高祥蒋忠浩张静付航

申请人：

重庆理工大学

申请人地址：

重庆市巴南区李家沱红光大道69号

代理机构：

重庆华科专利事务所

代理人：

唐锡娇

优先权：

CN201921002610.X

主分类号：

G01B7/02

IPC分类号：

G01B7/02