本实用新型提供了一种破损检测系统，包括：蒸镀腔室和微波检测装置，所述微波检测装置沿着垂直于被检测工件的方向设置在所述蒸镀腔室的外侧，所述蒸镀腔室与所述微波检测装置的光路相接触的位置对称设有密封窗，所述密封窗由低介电常数的材料制成。本实用新型采用微波检测装置代替现有的光电传感器，有效增强光波的穿透力，并且微波检测装置设置在所述蒸镀腔室的外侧，从而避免传感器会受到蒸镀云层的干扰，通过利用微波可以穿透低介电常数的材料，被高介电常数的材料反射的性能，微波会穿透密封窗实现对CIGS玻璃的检测，最终保证检测效果。