本实用新型公开了一种锂离子电池硅氧负极材料的制备系统，包括依次连接的进料装置、气流粉碎装置、旋转式化学气相沉积装置和后热处理装置；所述进料装置用于将硅氧原材料加入到气流粉碎装置内；所述气流粉碎装置用于对硅氧原材料进行气流粉碎和分级；所述旋转式化学气相沉积装置用于进行化学气相沉积反应，在硅氧原材料表面上形成含碳薄膜。本实用新型提供的系统可以大规模连续生产性能优异的碳包覆的硅氧负极复合材料，利用本实用新型的系统制备的硅氧负极材料的碳包覆层均匀致密，具有良好的电化学性能。研究表明，该负极材料具有较高的可逆比容量和较高的首次库伦效率，表现出优异的电导特性和良好的循环性能。