一种晶圆共用背检平台
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型提供一种晶圆共用背检平台。所述晶圆共用背检平台底座;显微镜,所述显微镜设置于所述底座的上方;共用圆盘,所述共用圆盘设置于所述底座的上方,所述共用圆盘的一侧开设有辅助槽,并且共用圆盘的顶部设置有防护板,所述共用圆盘、所述辅助槽和所述防护板之间形成一个共用平台,共用平台适用于8吋和12吋晶圆的检测,所述辅助槽内部与所述底座的侧面之间相互连通。本实用新型提供的晶圆共用背检平台具有采用共用平台,共用治具进行背面检查时,不需要在更换单独平台,和操作显微镜机台,提升公司设备使用效率,共用治具进行背面检查时,不需要在更换单独平台,减少平台在显微镜机台操作平台上摩擦,有效的保护平台的平整度,粗糙度。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆共用背检平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921021380.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-03
授权号 :
CN210571916U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
徐冉冉吴秋明钟志芳陈志远
申请人 :
合肥新汇成微电子有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921021380.1
主分类号 :
G01N21/01
IPC分类号 :
G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2021-05-25 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01N 21/01
变更事项 : 专利权人
变更前 : 合肥新汇成微电子有限公司
变更后 : 合肥新汇成微电子股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内
变更后 : 230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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