一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构
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摘要
一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，本实用新型的挂桶下活动连接有可分离的小齿轮与旋转中心的不动齿轮盘啮合，形成了桶有自身自转又围绕炉体中心有公转的状态，使依附在挂桶表面的产品在旋转中获得靶材的离子溅射膜，实现弧形产品镀膜，而小齿轮的顶端贯穿有挂架托盘，挂架托盘在挂桶的外围围绕放置挂架有若干组，等距于挂桶与靶材的距离，而挂架的底端连接有自转齿轮机构，依照挂架的原理，实现了平板形的产品镀膜与弧面产品镀膜的兼容，在平板镀膜时，只要取下桶，装上平板挂架即可；在镀孤面产品时，取下平板挂架，装上桶，从而实现一炉多用，有效减少了初投资，使有限的设备，更好适应了变化的市场对不同产品的需求。
基本信息
专利标题 ：
一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921039276.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-05
授权号 ：
CN210856324U
授权日 ：
2020-06-26
发明人 ：
王越民王焘骏
申请人 ：
佛山王氏航空光学科技有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区狮山镇经济开发区北园(测试车间)
代理机构 ：
北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭官厚
优先权 ：
CN201921039276.5
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-06-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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