本实用新型公开了一种氟化氢回收装置，包括带有进气口的用于收集废气的收集罐，设置于收集罐顶端的上出气口，设置于收集罐底部的下出气口，与上出气口相连的第一液化气室，与下出气口相连的第二液化气室，与第一液化气室和第二液化气室均相连的用于检测氟化氢残余量的余量检测装置，以及均与余量检测装置相连的循环回气通路和废气洗涤装置，设置于各个连接口的电磁阀，以及用于提供废气循环动力的的风机系统。通过上述设计，本实用新型利用两个液化气室，分别对不同纯度的氟化氢气体进行冷却液化回收，大大提高氟化氢的回收效率，并且，回收后的混合气体进行氟化氢的残余量检测，使其到达排放标准，实用性高。因此，适于推广应用。