喷头组件及清洗机台
授权
摘要
本实用新型提供的喷头组件，包括喷头主体和毛刷，在喷头主体上设置有喷头出口，毛刷与喷头主体连接，且毛刷的下边缘低于喷头出口的下边缘。借助毛刷的下边缘与喷头出口的下边缘之间的高度差，可以通过控制喷头出口的下边缘与晶圆之间的距离，来实现单独喷头主体清洗或喷头主体与毛刷共同清洗之间的切换，优化机械结构配置，并节省了工艺时间。本实用新型还提供了一种清洗机台。
基本信息
专利标题 ：
喷头组件及清洗机台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921049195.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-08
授权号 ：
CN211027243U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
惠世鹏
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN201921049195.3
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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