一种划片机切割水清洗液自动加液装置
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摘要
本实用新型公开了一种划片机切割水清洗液自动加液装置，涉及晶圆划片机加液技术领域，旨在解决通过现有技术中的自动喷液装置只能对划片机进行一对一的喷液，效率较低的技术问题，其技术方案要点是箱体内部设置有分隔板，分隔板把箱体分为混液区域和驱动区域；箱体位于混液区域内装有混合液，分隔板上开设有若干供液孔，箱体顶壁位于混液区域处设置有供液口，箱体位于供液口处设置有供液盖；箱体位于驱动区域内设置有若干驱动泵，驱动泵的一端管道连接在供液孔上，箱体位于供液区域的侧壁上设置有若干出液口，驱动泵的另一端连接有出液管，出液管贯穿出液口并延伸至箱体外部，出液管内设置有水流量传感器，达到提高了对划片机加液的效率的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种划片机切割水清洗液自动加液装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921049448.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-05
授权号 ：
CN210589981U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
吴斌吴家乐杭丹丹杭琪琪
申请人 ：
南通鑫晶电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市崇川区观音山镇新胜村二组1幢
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921049448.7
主分类号 ：
B28D5/00
IPC分类号 ：
B28D5/00 B28D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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