芯片技术微量气体流量检测模块
授权
摘要
本实用新型涉及芯片技术微量气体流量检测模块，用于气体流量检测，它公开了整流器设置在外壳内的主流道中间处，整流器是空心的圆柱体，在整流器内是井字形网格；在外壳内位于整流器的上方设置有一条分流道，分流道的入气口与整流器前端主流道连通，分流道的出气口与整流器后端主流道连通；PCB板设置在外壳内位于分流道的侧面，MEMS芯片安装在PCB板上，PCB芯片封装板上设置有窗口让MEMS芯片表面外露，分流道的中间段与PCB芯片封装板的窗口连通，分流道分为前、后两段，分流道的前段口径比后两段小，分流道的总长度比整流器的长度大。本实用新型的优点是结构合理，检测误差小，工作稳定，流量宽度大。
基本信息
专利标题 ：
芯片技术微量气体流量检测模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921054160.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-08
授权号 ：
CN210005060U
授权日 ：
2020-01-31
发明人 ：
李永坚吴英翟渊向毅施金良苏兴良彭宁魏东
申请人 ：
广州市唯量工控技术有限公司;重庆科技学院
申请人地址 ：
广东省广州市荔湾区坑口大街138号坑口红岗工业区5号首层南面
代理机构 ：
广州三辰专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
范钦正
优先权 ：
CN201921054160.9
主分类号 ：
G01F15/00
IPC分类号 ：
G01F15/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F15/00
用于组G01F1/00至G01F13/00范围的零部件或仪器的，但不专用于其中特定类型仪器的零件或附件
法律状态
2020-01-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
