用于微米级三维形貌测量仪的扫描机构
授权
摘要
本实用新型涉及三维形貌测量设备技术领域，公开了一种用于微米级三维形貌测量仪的扫描机构。包括工作台，工作台上设有X向移动机构；工作台上沿上下方向设有立柱，立柱上方设有Y向移动机构，Y向移动机构包括沿左右方向且位于立柱上的第二导板，第二导板的侧面上沿左右方向设有第二滑槽，第二滑槽内可转动地设有第二丝杆，第二导板的侧面上设有移动板，移动板的底面上设有位于第二滑槽内且与第二丝杆螺纹连接的第二滑块；移动板上设有Z向移动机构。通过上述构造，使得扫描仪的行程增大，便于进行大范围纵向扫描，同时能够调节扫描仪与载物台之间的距离，从而使扫描机构较佳地工作。
基本信息
专利标题 ：
用于微米级三维形貌测量仪的扫描机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921058708.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-09
授权号 ：
CN209894135U
授权日 ：
2020-01-03
发明人 ：
王孟哲吴洋梁正南李恩全
申请人 ：
宁波九纵智能科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市慈溪市附海镇观附公路402号
代理机构 ：
杭州永曙知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
曹康华
优先权 ：
CN201921058708.7
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2020-01-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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