用于真空设备破空管路的分流装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于真空设备破空管路的分流装置，包括：用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头。本实用新型还有一个目的是提供一种用于真空设备破空管路的分流装置，其能够在进入真空腔室的一端通过配置多个分流管，使得破空气体经过各分流管分流后再进入腔体，减少对产品的冲击，保证产品质量，且整体结构简单，便于实施。
基本信息
专利标题 ：
用于真空设备破空管路的分流装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921059466.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-08
授权号 ：
CN210506502U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
梁伟陈培专李仁龙魏昌华高翔
申请人 ：
绵阳金能移动能源有限公司
申请人地址 ：
四川省绵阳市涪城区凤凰中路8号
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
贾晓燕
优先权 ：
CN201921059466.3
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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