本实用新型公开了一种低温等离子体协同吸附处理工业废气装置，包括基板，所述基板的上端从左至右对应安装有低温等离子氧化罐、活性氧水洗塔和过滤箱，所述低温等离子氧化罐的上下端对应开设有进气端口和出气端口，所述出气端口上固定有第一连接管，所述第一连接管的另一端与活性氧水洗塔的底部贯通连接，所述活性氧水洗塔的内部上下对应设置有喷淋头和填料，所述活性氧水洗塔的顶端安装有第二连接管，所述第二连接管的另一端与过滤箱的上端贯通连接。本实用新型通过设置活性氧水洗塔、过滤箱、低温等离子氧化罐以及干燥箱，解决了设备对工业废气的处理效果不够好，以及其不能对气体进行干燥处理的问题。