本实用新型公开了一种高精度定位夹具，包括夹体，所述夹体的靠近另一侧处开设有夹孔，且夹孔的孔壁处设置有定位机构，所述定位机构是由第一定位弧形夹、第二定位弧形夹、伸缩连接柱、第一缓冲防偏柱、第二缓冲防偏柱、第一螺孔和第二螺孔组成，且第一定位弧形夹的外侧开设孔处连接有第一缓冲防偏柱，所述第一缓冲防偏柱是由第一连接柱、第二连接柱、弹簧和连接挡圈组成。本实用新型所述的一种高精度定位夹具，通过缓冲防偏柱防止定位弧形夹发生偏移，通过定位弧形夹实现夹孔内机体部件的夹持，以此减小圆心发生偏移程度，能够更精准的进行定位夹取，方便通过双向螺杆进行调节定位弧形夹内直径的大小。