一种白胶反应室
授权
摘要
本实用新型公开了一种白胶反应室,包括有反应室,所述反应室内部设置有搅拌器,所述反应室顶部一侧设置有第一入料口,所述反应室顶部另一侧设置有第二入料口,所述反应室外侧下方设置有气体入口,所述反应室外部设置有气体输出端,所述气体输出端和气体入口通过管道连接,所述气体入口外部设置有排放管,本实用新型入料口直接连到搅拌器上方,落料的同时搅拌器运转,提高搅拌的均匀性,气体入口设置在反应室靠下方的位置,充入的氧气顺着在反应室内部上升,从而充满反应室,便于反应室中进行氧气电浆处理制程,有效避免后续蚀刻制程遭受到碳残留物与硅残留物的污染,有效清除残留物保证反应室的正常工作,延长反应室的使用寿命。
基本信息
专利标题 :
一种白胶反应室
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921074430.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-10
授权号 :
CN211274611U
授权日 :
2020-08-18
发明人 :
尼尔森
申请人 :
台昌树脂(佛山)有限公司
申请人地址 :
广东省佛山市三水西南工业园兴业五路18号
代理机构 :
深圳市千纳专利代理有限公司
代理人 :
刘晓敏
优先权 :
CN201921074430.2
主分类号 :
B01J19/18
IPC分类号 :
B01J19/18
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法,例如,催化作用或胶体化学;其有关设备
B01J19/00
化学的,物理的或物理—化学的一般方法;及其有关设备
B01J19/18
具有内部移动元件的固定式反应器
法律状态
2020-08-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载