一种取样机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种取样机构，包括移动机构和抓取机构。所述移动机构包括液压油缸、活塞杆和固定板，所述活塞杆设置两根，上端与所述液压油缸连接，下端与所述固定板长度方向的两端垂直连接，所述抓取机构安装所述固定板下方。所述抓取机构包括安装在固定板两端下方的两个抓取单元。所述抓取单元包括调节板、安装槽、抓取气缸、抓取臂和爪；所述调节板与固定板垂直连接；所述抓取气缸安装在所述安装槽内，与所述抓取臂一侧中部连接，所述爪分别安装在抓取臂的另一侧两侧，所述爪钩与爪一体成型，整体朝向固定板长度方向，位于爪底部原理抓取臂中心的角边缘未处置。本实用新型提供了一种取样机构，在取样过程中能有效保证半导体半成品平整性。
基本信息
专利标题 ：
一种取样机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921091608.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-12
授权号 ：
CN209947817U
授权日 ：
2020-01-14
发明人 ：
刘明华邹学彬
申请人 ：
成都尚明工业有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市龙泉驿区星光中路灵池街6号
代理机构 ：
成都欣圣知识产权代理有限公司
代理人 ：
王海文
优先权 ：
CN201921091608.4
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2020-01-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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