本实用新型涉及一种废水的深度处理装置，公开了一种用于废水高级催化氧化的深度处理装置，其中，所述一种用于废水高级催化氧化的深度处理装置包括高级催化氧化反应塔，所述高级催化氧化反应塔设有进水管、出水管、反洗进水管、反洗出水管、臭氧进气管、出水集水装置、臭氧布气装置、反洗布水装置、进水布水装置、承托板、承托层、催化剂填料层、溢流堰、过滤网、臭氧尾气破坏器安装口、催化剂填料装填口、排空口、单向呼吸阀安装口、排空进气安装口、检修人孔、视镜一、视镜二、安全护栏、爬梯。通过对高级催化氧化反应塔内部结构的优化设计，有效解决设备进水、反洗均匀布水，臭氧均匀布气，催化剂填料层上部易板结，且清洗困难等问题。