一种碱洗设备

授权

摘要

本实用新型提供一种碱洗设备。所述碱洗设备包括第一碱洗池；第二碱洗池；第一水洗池；第二水洗池；上料机构，所述上料机构安装于所述第一碱洗池、所述第二碱洗池、所述第一水洗池及所述第二水洗池的表面；震动机构；第一过滤机构；第二过滤机构，所述第二过滤机构连通与所述第一碱洗池；第三过滤机构，所述第三过滤机构连通于所述第一水洗池，所述第三过滤机构包括第三滤池、第五连管及第六连管；蓄水机构，所述蓄水机构安装于所述第一水洗池的侧面，所述蓄水机构包括蓄水池及进水管；溢流管。本实用新型提供的碱洗设备保证产品出设备时表面的洁净度、保证了蚀刻减薄制程稳定、蚀刻制程良率大幅度的提升、有水量少、方便管理、过滤完全。

基本信息

专利标题：

一种碱洗设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921102156.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-15

授权号：

CN211488820U

授权日：

2020-09-15

发明人：

闫小雷

申请人：

黄石惠晶显示科技有限公司

申请人地址：

湖北省黄石市经济技术开发区金山大道东388号华创科技园

代理机构：

上海精晟知识产权代理有限公司

代理人：

安曼

优先权：

CN201921102156.5

主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/08 B08B3/14 B08B3/02 B08B7/02 B08B13/00