基于探针台的载片防滑装置
授权
摘要
本实用新型公开了基于探针台的载片防滑装置，包括载片台，所述载片台顶壁上固定设有第一防滑装置和第二防滑装置，所述第一防滑装置包括从载片台边缘向内依次固定的第一阻条、第二阻条和第三阻条。将晶圆放置在载片台上进行测试时，第一防滑装置和第二防滑装置配合对晶圆起到阻碍防滑作用，避免晶圆滑落破碎，避免生产造成损失。
基本信息
专利标题 ：
基于探针台的载片防滑装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921102352.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-15
授权号 ：
CN210604689U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
刘召满
申请人 ：
成都汉芯国科集成技术有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区(西区)合作路89号
代理机构 ：
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 ：
轩勇丽
优先权 ：
CN201921102352.2
主分类号 ：
G01R1/02
IPC分类号 ：
G01R1/02 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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