采用磁悬浮式直线电机驱动的二维平台

授权

摘要

本实用新型公开了采用磁悬浮式直线电机驱动的二维平台。现有磁悬浮纳米二维定位平台都是驱动力和悬浮力单独提供，并依靠导轨实现形约束来导向。本实用新型包括底部基座、X方向第一磁悬浮直线电机、X方向第二磁悬浮直线电机、中间连接台、Y方向第一磁悬浮直线电机、Y方向第二磁悬浮直线电机和Y向运动组件。本实用新型在单个方向上的两个磁悬浮直线电机对称倾斜放置，永磁阵列和线圈的作用力包括水平驱动力和电磁斥力，单一方向上两个电磁斥力在水平方向的分力相互抵消，可以进行力约束从而进行导向；悬浮力等于两个电磁斥力在竖直方向上的力之和，且重力和悬浮力结合实现力约束从而进行导向，避免使用导轨，降低了加工精度要求。

基本信息

专利标题：

采用磁悬浮式直线电机驱动的二维平台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921111633.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-16

授权号：

CN210189044U

授权日：

2020-03-27

发明人：

史治港王文王瑞金徐振龙周茂瑛桑志谦居冰峰

申请人：

杭州电子科技大学;浙江大学

申请人地址：

浙江省杭州市下沙高教园区2号大街

代理机构：

杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

黄前泽

优先权：

CN201921111633.4

主分类号：

B23Q1/25

IPC分类号：

B23Q1/25 H02N2/02 H02N15/00