一种电动型二维倾斜台
授权
摘要
本实用新型提供了一种电动型二维倾斜台，其包括倾斜台底座、Y向倾斜驱动机构、关节球倾斜导向结构、消隙结构、X向倾斜驱动机构。本实用新型主要是采用关节球为偏摆支点和两套直线电机为驱动的直线位移传动机构，实现以关节球为支点的载物平台在三维空间中实现高分辨率的水平二维角度电动倾斜调整，彻底解决成像速度慢、调节效率低、人工手动调整劳动强度大的问题；从而利用了一种高精度电动二维倾斜台来实现白光干涉仪对光学器件和精密器件表面轮廓纳米级测量的要求。
基本信息
专利标题 ：
一种电动型二维倾斜台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921122080.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-17
授权号 ：
CN210180396U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
徐爱文
申请人 ：
深圳市中图仪器股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽街道学苑大道1001号南山智园B1栋2楼
代理机构 ：
深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
胡玉
优先权 ：
CN201921122080.2
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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