一种蚀刻刀模的显形装置
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摘要

本实用新型提供了一种蚀刻刀模的显形装置,包括凸模组件,所述凸模组件包括显形块以及安装在所述显形块内的上药装置,所述上药装置包括可拆卸地安装在所述显形块内的药物框、设置在所述药物框内的喷药板以及设在所述药物框内的导向轨,所述喷药板可滑动地套设在所述导向轨上,所述喷药板上开有和所述蚀刻刀模对应的喷药开口,所述喷药板的侧面上连通有进药管道,所述进药管道上可拆卸的螺纹连接有输药管,所述输药管透过所述药物框连通至存储显形药水的存储装置中,利用输药管和喷药板之间的螺纹连接,在输入显形药水的同时,可控制喷药板沿导向轨移动,使得喷淋和刷平两个过程同步进行。

基本信息
专利标题 :
一种蚀刻刀模的显形装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921148964.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-19
授权号 :
CN210377026U
授权日 :
2020-04-21
发明人 :
刘勇刘礼龙
申请人 :
珠海市科弥光电有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市香洲区永田路21号2栋
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921148964.5
主分类号 :
G03F7/30
IPC分类号 :
G03F7/30  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2020-04-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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