一种晶元蓝膜张紧装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种晶元蓝膜张紧装置，包括转轮，所述转轮的上端固定设置有安装板，所述安装板的中部设置有环形定位凸台，所述环形定位凸台上放置晶元蓝膜，所述安装板的上方设置有压板，所述压板的中部设有与所述定位凸台同心的取晶孔，所述压板通过竖直调节机构从上往下压紧所述晶元蓝膜的外周，通过将晶元蓝膜安装到环形定位凸台上，竖直调节机构从上往下压紧晶元蓝膜的外周，蓝膜被拉伸张紧使得蓝膜上的晶元间距更大更标准，晶元与蓝膜的吸附力减小，方便了后续的自动化取晶操作。
基本信息
专利标题 ：
一种晶元蓝膜张紧装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921155832.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-22
授权号 ：
CN209993617U
授权日 ：
2020-01-24
发明人 ：
向军冯霞霞封浩
申请人 ：
江苏新智达新能源设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市梁溪区会北路26-14
代理机构 ：
南京中高专利代理有限公司
代理人 ：
祝进
优先权 ：
CN201921155832.5
主分类号 ：
H01L33/48
IPC分类号 ：
H01L33/48 H01L21/67 H01L21/687
法律状态
2020-01-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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