一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，包括：腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨；腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外设置有凸起的容纳腔，所述凸起的容纳腔能够容纳腔室外部的导轨，所述腔门外的底端连接有支撑板；连接板，其一个面上设置有一组支撑杆，所述支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与导轨相互卡合滚动连接；收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连接板和腔门间可转动连接有镀膜辊，所述收卷辊、放卷辊和镀膜辊上连接有卷材。本实用新型的一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备具有操作简单，节省换靶时间，占用空间小的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921160422.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-23
授权号 ：
CN210560712U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
刘行健陈培专李仁龙魏昌华高翔
申请人 ：
绵阳金能移动能源有限公司
申请人地址 ：
四川省绵阳市涪城区凤凰中路8号
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
贾晓燕
优先权 ：
CN201921160422.X
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/56 H01L21/67 H01L31/18 H01L21/677
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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