一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统包括真空箱和工件,所述工件位于所述真空箱内,所述工件的进出气口连通高压罐的出气口,所述高压罐的第一进气口连通氦源的出气口,所述氦源的出气口连通低压罐的第二进气口,所述低压罐的第一进气口连通回收泵的出气口,所述回收泵的进气口连通所述工件的进出气口,所述低压罐的第一出气口连通主压机的进气口,所述主压机的出气口连通所述高压罐的第二进气口,所述主压机是无油主压机,所述回收泵是无油回收泵。根除了在回收的氦气中产生油气的因素,通过反复实验证实,用本实用新型回收的氦气中没有油气了,回收的气体质量安全可靠,避免污染被检产品,提高了检漏系统灵敏度和检漏精度。
基本信息
专利标题 :
一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921160955.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-23
授权号 :
CN209992127U
授权日 :
2020-01-24
发明人 :
通文雷
申请人 :
北京科仪创新真空技术有限公司
申请人地址 :
北京市昌平区南口镇东大街52号2号楼一层125
代理机构 :
北京市京师律师事务所
代理人 :
高晓丽
优先权 :
CN201921160955.8
主分类号 :
G01M3/20
IPC分类号 :
G01M3/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/04
通过在漏泄点检测流体的出现
G01M3/20
应用特殊示踪物质,例如染料、荧光材料、放射性材料
法律状态
2020-01-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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