方舟结构
授权
摘要

本实用新型公开了方舟结构,包括第一舟板、第二舟板;第一舟板、第二舟板间隔排布;第一舟板、第二舟板之间设置支撑柱;第一舟板、第二舟板相应位置上设置放置加工产品的凹槽,支撑柱设置在第一舟板、第二舟板的边角位置,且采用绝缘材料;本实用新型提供了一种结构简单、舟板之间形成加强的电场的方舟结构。

基本信息
专利标题 :
方舟结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921179559.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-25
授权号 :
CN211238182U
授权日 :
2020-08-11
发明人 :
林佳继高忠祥刘群朱太荣林依婷
申请人 :
深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
代理机构 :
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
董世博
优先权 :
CN201921179559.X
主分类号 :
H01L21/673
IPC分类号 :
H01L21/673  H01L31/18  C23C16/458  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-08-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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