一种电光源气体配气装置

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摘要

本实用新型提出一种电光源气体配气装置，包括真空泵、底板、氪气纯化器、管道和阀门；其特征在于：所述管道包括氮气管道、氩气管道、成品气管道、氙气管道、氪气管道、卤素管道、磷烷管道、硅烷管道、排空管道、旁通管道一和旁通管道二；所述旁通管道一与成品气管道之间连接有旁通管道二。所述真空泵与旁通管道1相连接；所述旁通管道上安装有压力百分表和真空计显示器；所述氪气管道上连接有氪气纯化器；所述成品器管道上连接有注射口阀。本实用新型结构简单，能够实现多种类别的气体进行配气，节约成本，节省场地。

基本信息

专利标题：

一种电光源气体配气装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921182310.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-25

授权号：

CN209947787U

授权日：

2020-01-14

发明人：

於俊杰何晓王莉君周建伟吕民

申请人：

杭州贝斯特气体有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市富阳区新登镇新登新区贝山路58号

代理机构：

杭州永绎专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

许传秀

优先权：

CN201921182310.4

主分类号：

H01J9/395

IPC分类号：

H01J9/395