一种氢氟酸生产用蒸馏系统
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摘要
本实用新型公开了一种氢氟酸生产用蒸馏系统,包括蒸馏塔、进料组件、蒸汽加热器以及物料室,物料室内部包括存储有液态氟化氢的供料总站、两个计量站,供料总站与两个计量站分别通过输料管连接,每个计量站与供料总站所对应输料管的接头处均设有单向电磁阀一,进料组件包括主进料管、分管器以及两根进料支管,主进料管的一端与蒸馏塔连接,另一端与分管器连接,每根进料支管的一端与分管器连接,另一端对应连接一个计量站,两个计量站与蒸馏塔所对应进料支管的接头处均设有单向电磁阀二。本实用新型能够保证供料站持续的向蒸馏塔供料,并且能够及时的观察到蒸馏塔蒸馏后所产生的残渣,继而提高了氢氟酸的蒸馏效果。
基本信息
专利标题 :
一种氢氟酸生产用蒸馏系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921187881.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-26
授权号 :
CN210384886U
授权日 :
2020-04-24
发明人 :
童晨
申请人 :
昆山晶科微电子材料有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市千灯镇致威路259号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921187881.7
主分类号 :
B01D3/00
IPC分类号 :
B01D3/00 C01B7/19
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D3/00
蒸馏或相关的在液体同气体介质相接触的过程中发生交换的方法,例如汽提
法律状态
2020-04-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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