一种应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构及喷头
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摘要
一种应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构及喷头，喷头沿气体隔离面以及封装工作面的工作区与缓冲区上分布有多个排气孔，导气槽选择性的连接在不同排气孔之间，通过排气孔实现相邻导气槽之间的串接；通过导气槽对若干个排气孔进行互联，两个排气孔之间的导气槽呈扩张型布置，通过导气槽使出射气体射流在排出排气孔的同时向排气孔四周迅速扩撒。本实用新型能够使出射气体射流在排出排气孔的同时迅速向排气孔四周扩撒，以此方式提供对每个排气孔出射气体射流的缓冲，减低直接朝向柔性膜的冲击力。连接所有排气孔的导气槽使所有排气孔可以被部分地当作一个更大的排气孔，有助于减少单个排气孔对柔性膜的冲击作用并起到对封装层均匀性更好的控制。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构及喷头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921204694.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-29
授权号 ：
CN210420153U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
崔东旭郭鸿晨许淘元李瑞斌贾培军赵超陈静升
申请人 ：
陕西煤业化工技术研究院有限责任公司;郭鸿晨
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区锦业一路2号陕西煤业化工集团公司
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
王艾华
优先权 ：
CN201921204694.5
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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