新型气缸
授权
摘要
该实用新型涉及一种新型气缸，包括：缸筒；第一活塞，设置在所述缸筒内，能够相对于所述缸筒做往复运动，且所述第一活塞内部设置有凹槽，所述凹槽的长度方向与所述第一活塞的运动方向相同；第二活塞，设置于所述第一活塞的凹槽内部，能够相对于所述第一活塞做往复运动；震动检测器，安装至所述缸筒，用于检测所述第一活塞或第二活塞的异常震动。以上新型气缸具有震动检测器，能够通过检测所述第一活塞和第二活塞的震动情况，来实时监测整个新型气缸的异常震动情况，防止因气缸问题发生停机，产生晶圆报废风险，侧面提高晶圆产率。
基本信息
专利标题 ：
新型气缸
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921207919.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-29
授权号 ：
CN210637312U
授权日 ：
2020-05-29
发明人 ：
孟杰曾圣翔薛波郭松辉林宗贤
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201921207919.2
主分类号 ：
F15B15/14
IPC分类号 ：
F15B15/14 F15B19/00 F15B20/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F15
流体压力执行机构；一般液压技术和气动技术
F15B
一般流体工作系统；流体压力执行机构，如伺服马达；不包含在其他类目中的流体压力系统的零部件
F15B
一般流体工作系统；流体压力执行机构，如伺服马达；不包含在其他类目中的流体压力系统的零部件
F15B15/00
将一个部件从一个位置移到另一个位置的流体致动装置
F15B15/08
以马达结构为特征的
F15B15/14
直缸型的
法律状态
2020-05-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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