一种研抛设备的自动分液排放和循环装置
授权
摘要
本实用新型属于硅片研磨抛光设备领域，具体涉及一种研抛设备的自动分液排放和循环装置。包括分液盒，分液盒底部有两个分隔开的排液孔，分别固定两个管接头分液盒顶部盖设有安装板，安装板上设有通孔用于导入抛光液，分液盒下部设有安装块；安装块与连接支架相连，连接支架通过销轴与气缸连接。分液转轴横向贯穿分液盒，分液盒内的分液转轴中段设有分液扇，其中一端部与设于分液盒外的连杆一端相连；连杆另一端通过连接座气缸头部相连。本实用新型节约设备使用成本，减少废液污染，结构简单，只需通过一个气缸来控制分液扇转动，即可实现可循环抛光液与废液的分离，可靠性高，运行稳定性强。
基本信息
专利标题 ：
一种研抛设备的自动分液排放和循环装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921208256.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-30
授权号 ：
CN210452354U
授权日 ：
2020-05-05
发明人 ：
朱亮曹建伟卢嘉彬陈明谢永旭谢龙辉傅林坚周锋
申请人 ：
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 ：
杭州中成专利事务所有限公司
代理人 ：
周世骏
优先权 ：
CN201921208256.6
主分类号 ：
B24B57/02
IPC分类号 ：
B24B57/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
B24B57/02
流体的，喷射的，雾化的或液化的磨削剂，抛光剂，或研磨剂的送进
法律状态
2020-05-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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