本申请提供了一种用于蒸汽洗车机的蒸汽发生装置及其蒸汽洗车机，其中蒸汽发生装置包括燃烧装置、燃烧腔室以及加热部，所述加热部设置于燃烧腔室内部，还包括蒸汽后处理部，所述蒸汽后处理部设置于燃烧腔室外围，所述蒸汽后处理部包括蒸汽入口，所述蒸汽入口设置于燃烧腔室上端，所述蒸汽后处理部远离所述蒸汽入口的一端设置有蒸汽出口。本申请中水分经过加热部进行大量初步的汽化过程，蒸汽后处理部的作用是对于初步汽化后的水汽进行进一步汽化过程，增大蒸汽的产生量，进一步降低蒸汽中的水珠量，蒸汽后处理部设置于燃烧室外围，有效的利用了燃烧室的的余热，提高了热量的利用率。