一种单晶炉故障报警装置
授权
摘要
本实用新型公开一种单晶炉故障报警装置，包括坩埚和托盘，所述托盘的上表面开设有凹槽，所述坩埚设置在凹槽上，所述凹槽为锥形结构，所述托盘的内部中间位置开设有空腔，所述凹槽的底面中间位置开设有与空腔连通的漏孔，所述空腔侧壁开设有环形的球形槽，所述球形槽内滚动连接有滚球，所述托盘的内部还开设有收集腔，所述空腔的下端与收集腔上壁中央位置连通，所述托盘的底面开设有与收集腔连通的卸料口，本实用新型涉及单晶炉技术领域，该单晶炉故障报警装置可对坩埚漏液进行及时报警，并且能对漏液进行导流，避免高温硅液溢出对炉体内部电器件造成损害。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶炉故障报警装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921222964.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-31
授权号 ：
CN210711820U
授权日 ：
2020-06-09
发明人 ：
张世平闫志祥马立强陈炳旭
申请人 ：
焦作晶锐光电有限公司
申请人地址 ：
河南省焦作市山阳区焦辉路3033号科创中心四层401室5号
代理机构 ：
焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
秦贞明
优先权 ：
CN201921222964.5
主分类号 ：
C30B15/00
IPC分类号 ：
C30B15/00 C30B35/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
法律状态
2020-06-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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