显影剂喷淋系统
授权
摘要
本实用新型提供显影剂喷淋系统，包括：喷头，用于喷淋药剂；气动阀，进口接药剂罐、出口接喷头，用于控制喷头喷淋药剂的动作；电磁阀，制动端接控制器、出口接气动阀的制动端、进口接氮气罐，用于控制气动阀的启动；氮气罐，通过管道接药剂罐，氮气罐通过管道输出的氮气分为两路，一路通入药剂罐，另一路通到电磁阀，用电磁阀控制氮气的通断，电磁阀接通后，氮气通入气动阀，气动阀的一端接液罐的出液口，另一端通到喷头，这样使用耐腐蚀的气动阀就可以控制药剂的通断，结构简单、成本低，功能完全替代，喷液流量控制更加稳定，备件国产化，提升机台稳定性。
基本信息
专利标题 ：
显影剂喷淋系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921228259.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-31
授权号 ：
CN210294805U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
荣卿烨
申请人 ：
无锡迪思微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6
代理机构 ：
无锡市朗高知识产权代理有限公司
代理人 ：
贾传美
优先权 ：
CN201921228259.6
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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